Thiết bị đo đạc và phân tích
THIẾT BỊ ĐO ĐỘ DÀY VÀ HÌNH THÁI HỌC BỀ MẶT

01/03/2012 12:11 CH

I. GIỚI THIỆU

Hệ Alpha-Step IQ là thiết bị đo hình thái học bề mặt hoạt động theo nguyên tắc kim tì, có độ chính xác cao, thích hợp cho các nghiên cứu các vật liệu màng mỏng, bán dẫn.., có thể tiến hành các phép đo về:
     - Độ nhám bề mặt
     - Độ lượn sóng bề mặt.
     - Độ gồ ghề nhẩy bậc trên bề mặt mẫu.
     - Ngoài ra có thể chụp ảnh, quay phim bề mặt mẫu.

II. GIỚI HẠN CỦA PHÉP ĐO

     - Độ chính xác đo nhẩy bậc (đo bề dày, độ cao thấp)
       Thang đo 20µm (±10µm)
     - Độ lệch chuẩn: 0.8nm hoặc 0.1% toàn thang
      Thang đo 400 µm (± 200µm)
     - Độ lệch chuẩn:400nm hoặc 0.2% toàn thang


III. TÍNH NĂNG THIẾT BỊ

     - Chiều dài quét cực đại:10.000 nm (10 mm)
     - Tốc độ quét: 2µm/s đến 200µm/s.
     - Độ phân giải theo chiều nằm ngang: 0.01µm tại tốc độ quét 2 µm/s.
     - Điều chỉnh lực tỳ kim: Có thể điều chỉnh bằng tay từ 1.0 đến 99.9 mg, với độ phân giải 0.1mg
     - Độ phóng đại ảnh, chụp ảnh mẫu đo:  70 – 210x (Zoom)

 

Bài viết liên quan

tìm kiếm
Thông báo
khoa học & công nghệ
Liên kết website
Lượt truy cập
Hôm nay: 19
Lượt truy cập: 329249