Thiết bị đo đạc và phân tích
KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT PHÂN GIẢI CAO HITACHI S-4800

01/03/2012 11:58 SA

I. GIỚI THIỆU

Hitachi S-4800 là kính hiển vi điện tử quét sử dụng súng điện tử kiểu phát xạ cathode trường lạnh FESEM và hệ thấu kính điện từ tiên tiến nên có độ phân giải cao, thường được dùng để đo các đặc trưng của các vật liệu cấu trúc nanô.

II. ĐẶC ĐIỂM CỦA THIẾT BỊ

- Độ phân giải ảnh điện tử thứ cấp

1,0nm (15kV, WD = 4nm); 1.4 nm (1 kV, WD = 1,5nm, kiểu giảm thế gia tốc); 2.0 nm (1 kV, WD = 1,5nm, kiểu thông thường)

- Độ phóng đại

Kiểu phóng đại thấp LM 20-2000 lần; Kiểu phóng đại cao HM 100-800000 lần

- Đầu dò điện tử truyền qua cho phép nhận ảnh theo kiểu STEM, Hệ EMAX ENERGY (EDX) cho phép phân tích nguyên tố trong vùng có kích thước μm

- Có thể đo và phân tích các mẫu ở dạng khối, màng mỏng, bột

Khả năng đo: Nếu TEM chỉ cung cấp thông tin về các mẫu mỏng thì với SEM có thể nhận được ảnh ba chiều. Độ phân giải đạt được tốt nhất: 10 nm

Phân tích nguyên tố:

EDX cung cấp thông tin về thành phần hóa học trong một giải rộng các nguyên tố từ B tới U trong mẫu với ba kiểu: Phân tích định tính và định lượng theo vùng lựa chọn; theo điểm lựa chọn; Phân tích và thể hiện sự phân bố các nguyên tố theo vùng lựa chọn.

Bài viết liên quan

tìm kiếm
Thông báo
khoa học & công nghệ
Liên kết website
Lượt truy cập
Hôm nay: 14
Lượt truy cập: 329242